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Phoenix 2000激光驱动光源

Phoenix 2000激光驱动光源(LDLS)在深紫外至可见光以及红外光谱范围(170 nm ~ 2100 nm)内提供超高发光亮度,在DUV波段的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。光源的寿命也比传统氙灯高出近一个数量级(>9000 h),且具极好的稳定性。为目前使用传统弧光灯出现频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户,提供了一个新的选择。

产品特点
应用场景
性能参数
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产品特点

超宽的光谱范围

170 – 2100nm超宽光谱波段,覆盖UV、可见光、近红外

长寿命

仅在初始点亮时使用两个电极,后续用激光保持等离子体,电极没有磨损,灯泡的使用寿命长

高辐射照度

●极小的发光点,易聚集光线,可实现光的有效利用
●小发散角,易形成理想的平行光线

应用场景

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先进制造

半导体晶圆缺陷检测、膜厚量测、套刻对准测量

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空间科学仪器

航空航天光谱遥感分析、海洋油气光谱遥测、光谱仪器分析研究

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性能参数


型号Phoenix2000-40-FS
关键性能指标单位规格参数
波长范围nm170-2100
光谱辐射亮度(Typ.)mW/(mm2.sr.nm)@500nm>50
输出光总功率(Typ.)W≥4
数值孔径(NA)/0.5
功率稳定性
/±0.3%
输出方式/自由空间输出
使用寿命(Typ.)小时10000
总功率衰减/10000 小时衰减<10%
质心空间稳定性um/h< 5
发光点尺寸(Typ.)um140*450
热机时间min30
激光等级
/Class1
是否需要接地/
外观尺寸灯室尺寸mm185 x 133 x 107
光源驱动器尺寸mm164 x 320 x 157


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